本发明提供一种双头质量传感器(25),其中在相应侧边与一个第一膜片(21A)相连的一个第一连接片(22A)和与一个第二膜片(21B)相连的一个第二连接片(22B)之间,跨接有一个第一传感片(41A),在该传感片在至少一个平面表面上设置有一个主元件(44),由所说膜片(21A)(21B)、所说连接片(22A)(22B)、所说第一传感片(41A)和所说主元件(44)构成的一个谐振部分与一个传感器基板(27)相连。通过测量由于膜片(21A)(21B)质量变化引起的谐振部分谐振频率的变化测得所说膜片(21A)(21B)中每一个的质量变化。本发明的质量传感器能够容易而且高精度地测量毫微克量级的微小质量,包括微生物如细菌和病毒、化学物质,以及测量蒸气沉积膜的厚度。
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