本发明公开了一种检测生产环境对金属连线腐蚀的方法，包括如下步骤：提供一晶圆，在所述晶圆的切割道上制备离子阱组合结构，其中，所述离子阱组合结构包括各种类器件结构的离子阱结构，每种器件的离子阱结构中P阱和N阱均通过各自上方的接触孔连接金属连线；将所述制备好离子阱组合结构的晶圆放置在正常的生产环境中；通过显微镜观察所述晶圆切割道上离子阱组合结构的金属连线的
电化学腐蚀情况。采用本发明的技术方案可以更快检测出生产环境对金属连线腐蚀的影响，以便在实际的生产中进行相应的改进，从而提高产品的良率。
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来源：北方有色网
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