本实用新型涉及一种工艺终点检测装置，与化学机械抛光机台配合使用，其包括：一光发射模块以及一光检测模块，其特征在于，化学机械抛光机台的抛光平台设有一上下贯通的窗口，待检晶圆置于抛光平台上并遮蔽窗口，终点检测装置位于抛光平台下方并与其分离设置，光发射模块发出光束自窗口投射至待检晶圆表面，光检测模块经由窗口接收待检晶圆表面薄膜表面的反射光束，并计算表面薄膜厚度以确定化学机械抛光工艺的终点。其便于拆卸、更换或维护。
声明：
“工艺终点检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
914
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
