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检测纳米材料的长周期图案种类的方法

993   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:06:49
本发明提供一种检测纳米材料的长周期图案(LPP)种类的方法,包括如下步骤:(1)将纳米材料制作成扫描透射电子显微镜样品,放在带球差校正的扫描透射电子显微镜中;(2)找到LPP区域,带球差校正的扫描透射电子显微镜调至正常的成像模式,在一个欠焦量下获得HAADF像;(3)通过多次改变带球差校正的扫描透射电子显微镜的欠焦量,获得一系列欠焦量不同的像;(4)分析系列欠焦像,比较每一帧结构的变化。本发明解决了用常规方法难以判断纳米材料的LPP种类的问题,为下一步电学、力学和光学等物理性质以及化学性质的研究打好前提。另外,本发明采用的断层成像法在原位、快速、无损表征材料或器件结构方面有独到的优势。
声明:
“检测纳米材料的长周期图案种类的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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