本发明公开了压差传感器系统和方法,包括由用于检测被检测介质的多个压力检测
芯片组成的绝对压力传感器,其中压力检测芯片中的每个都具有背面和前面,并且分别与多个不同的压力相关联。被检测介质仅施加在压力检测芯片的背面上,由此防止与压力检测芯片的前面相关联的引线键合和有源区域暴露于被检测介质并受到与被检测介质相关联的酸和磨蚀化学物质侵蚀。
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“使用背面检测和单个专用集成电路的压差测量” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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