一种包括半透明窗玻璃(220,320,404,516,524,604)的化学机械抛光垫(200,300,400,500,600)。该窗玻璃可允许使用从晶圆(212,324,608)或其它正在抛光的物体表面反射的光能进行光学测量,窗玻璃包括一个前端(350,416,632)和一个后端(348,412,628),每个端均为流线型,以便降低对窗玻璃周围抛光介质(216)流动的干扰。抛光垫还可以进一步包括在窗玻璃周围转向的槽(336,428,520,640),以便为抛光介质在窗玻璃区域提供一个连续的路径。
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来源：北方有色网
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