本实用新型涉及一种用于化学气相沉积炉的进气管装置，包括底座，底座具有带螺纹的沉孔，沉孔的底部具有通孔；套管包括管体，管体的一端为带有外螺纹的连接部，管体的另一端设置炉体连接部，炉体连接部内螺纹孔的直径大于管体的外径，管体的侧壁上设置有进气管；上气管的一端具有外螺纹，且上气管的管壁上设置有多个气孔；保护管具有保护管管体和设置于保护管管体端部的卡环；保护管的卡环放置在底座的沉孔内，套管套装在保护管的保护管管体上并由连接部与沉孔螺纹连接，上气管套装在保护管的保护管管体上且上气管的螺纹端插入炉体连接部内与管体螺纹连接。本申请的装置集进气、预热、开孔测温等优点为一体，且便于拆卸、组装简单。
声明：
“用于化学气相沉积炉的进气管装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
877
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
