一种化学气相沉积气体导流机构，涉及化学气相沉积设备技术领域，包括布气筒、上盖、进气管、支撑件、安装板、安装管、安装柱和分流罩；布气筒为底端封闭的圆筒结构，布气筒底部均匀设置有多个出气孔；上盖设置在布气筒上端；进气管设置在上盖上，进气管与布气筒连通，进气管位于上盖中部；支撑件设置在布气筒内壁上，支撑件为上下开口且中空的圆台结构，支撑件上均匀设置有多个第一通孔；安装板设在支撑件上端面，安装板上设置有多个第二通孔；安装管设置在安装板上，安装管位于进气管下方；安装柱卡接在安装管内；分流罩设置在安装柱上端。本实用新型使得膜厚测试更为简单方便，制作成本低，降低了气流大小不均匀对气体沉积膜厚度造成的影响。
声明：
“化学气相沉积气体导流机构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1100
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
