场发射环境扫描电子显微镜
这台场发射环境扫描电子显微镜（ESEM）具有独特的低真空和环境真空模式，广泛应用于金属材料、高分子材料、无机材料（包括矿物、岩土和含水分材料）等的表面二次电子形貌观察、背散射电子组分区分以及能谱元素成分分析。其加速电压范围为200 V至30 kV，电子束流范围为1 pA至200 nA。在高真空模式下，分辨率为1.0 nm（二次电子，SE，30 kV），低真空和环境真空模式下的分辨率为1.3 nm（SE，30 kV）。最大样品高度为85 mm，样品台倾转角度为-15°至+90°。功能配置包括高分辨肖特基场发射电子枪、压差真空系统保护装置、70 mm²电制冷能谱仪以及SmartScan智能扫描和图像导航功能，能够满足多种材料的微观分析需求。
主要用途
场发射环境扫描电子显微镜具有独特的低真空、环境真空模式，广泛应用于测试各种材料，如金属材料、高分子材料、无机材料（矿物、岩土、甚至含水分材料）等的样品表面二次电子形貌信息，背散射电子组分区分，能谱元素成分分析。
项目介绍
设备参数/指标
l 加速电压：200 V – 30 kV
l 电子束流：1 pA -200 nA
l 高真空分辨率：1.0 nm（SE，30 kV）
l 低真空分辨率：1.3 nm（SE，30 kV）
l 环境真空分辨率：1.3 nm（SE，30 kV）
l 最大样品高度：85 mm
l 样品台倾转角度：-15° to + 90°
功能配置
l 高分辨肖特基场发射电子枪
l 压差真空系统保护装置
l 70mm2电制冷能谱仪
l SmartScan智能扫描和图像导航
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