双束电镜与二次离子质谱联用系统
这台双束电镜与二次离子质谱（TOF-SIMS）联用系统主要用于超高分辨率的纳米操作和分析，能够完成从氢（H）开始的轻元素检出分析以及微量元素分析。其离子束分辨率高达2.5 nm（30 kV），TOF-SIMS质谱分辨率不低于800，质量数范围为1-2500，元素含量检出限达到ppm量级，覆盖从氢开始的所有元素。EBSD在线标定速度高达4500点/秒。功能配置包括液态金属镓离子源、铂/碳沉积气体和集成TOF-SIMS系统，结合能谱仪和EBSD，可完成微区成分及晶体结构取向分析，适用于材料科学、纳米技术、地质学和生物学等领域的高精度分析。
主要用途
超高分辨率电镜联用系统可完成复杂的纳米操作，搭载飞行时间二次离子质谱能完成从H开始的轻元素检出分析和微量元素分析工作，结合能谱仪和EBSD，可以完成微区成分及晶体结构取向分析。
项目介绍
设备参数/指标
l 离子束分辨率：2.5 nm @ 30 kV
l TOF -SIMS质谱分辨率：不低于800，质量数范围不小于1 - 2500
l 元素含量检出限：ppm量级
l 元素范围：从H开始的任意元素
l EBSD：在线标定速度高达4500 点/秒
功能配置
l 液态金属镓离子源
l 铂/碳沉积气体
l 集成TOF-SIMS系统
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