钨灯丝扫描电镜
主要用途
全自动钨灯丝扫描电子显微镜具有突出的电子光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征，适用于材料断口形貌和微观组织观察、微区成分定性和半定量分析等。
项目介绍
设备参数/指标
l 电子束最佳工作距离分辨率：
3 nm @ 30 kV
8 nm @ 3 kV
l 加速电压：200 V ～30 kV
l EDS探测器能量分辨率：
Mn Kα保证优于127 eV
l 元素分析范围：Be4～Cf98
l 最大视野：＞50 mm@ 最大工作距离
l 最大样品高度：147 mm（不能旋转）106 mm（可旋转）
l 样品台倾转角度：-30° to +90°
功能配置
l ET型二次电子探测器(YAG晶体)
l 可升缩背散射电子探测器
l TESCAN专有中间透镜光束优化
l 电子光路和合轴自动设置
l AZtecOne X-Max 20能谱仪
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