本实用新型公开一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括：真空腔体(10)，设置有多个加热元件；加热台(20)，设置在真空腔体的内部；匀气装置(30)，设置在真空腔体的内部，并位于加热台的上方，且朝向加热台出气；以及进气装置(40)，设置在真空腔体的外部，并与匀气装置相通，所述等离子体增强化学气相沉积设备还包括：通孔(11)，设置所述真空腔体(10)的位置高于所述加热台(20)的腔壁上，并且通过透明密封件(50)而与真空腔体实现密封连接，以及红外热像仪(60)，其设置在真空腔体的外侧，并经由透明密封件对加热台的温度进行探测。本实用新型的等离子体增强化学气相沉积设备的操作简单，且测量范围比较广，测量结果更加准确。
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来源：北方有色网
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