本实用新型提供一种化学机械研磨机台，包括研磨台、研磨垫、研磨液输送装置、研磨头装置以及研磨头清洗及晶圆装卸单元，所述研磨头装置设置有红外发射器，所述研磨头清洗及晶圆装卸单元设有与红外发射器相对应的所述校准测试用标记，当红外发射器发射的红外光线照射到校准测试用标记上时，研磨头装置与研磨头清洗及晶圆装卸单元对准。通过红外发射器和校准测试用标记点对点的位置校准，非常直观、简便的去校准研磨头装置至研磨头清洗及晶圆装卸单元的位置，可以最大程度的保证研磨头装置至研磨头清洗及晶圆装卸单元的位置不存在偏差，大大提升了化学机械研磨机台的装机与修机效率，从而保证化学机械研磨机台的正常工作以及产品质量。
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来源：北方有色网
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