一种MEMS单
芯片集成流量温度湿度化学传感器，硅晶圆为整个器件的衬底，作为支撑结构；绝缘层板状结构，绝缘隔离金属薄膜与硅晶圆；敏感材料层设置在金属薄膜上；钝化层设置在金属薄膜上，金属焊盘为芯片的对外电学连接端子；腔室由晶圆背面或正面对其内部进行刻蚀，形成的腔室；温度传感器、气体质量流量传感器、湿度传感器和气体化学传感器集成在金属薄膜上。本实用新型的优点：湿度传感器利用在金属薄膜电阻沉积聚酰亚胺材料来制备。气体质量流量传感器通过温度传感器测试被加热的空气的流动引起的温度变化从而得出气体流量。气体化学传感器通过在金属薄膜和敏感材料层形成的电容，来对不同气体成分进行测试。成品体积小，精度高。
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“MEMS单芯片集成流量温度湿度化学传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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