带压力传感器的微型化学推进器,属于微推进技术和MEMS技术领域。为解决现有MEMS化学推进器无法反馈控制的问题,本发明公开了一种带压力传感器的微型化学推进器,它由上层硅片和下层硅片两部分粘接而成,并且是一系列基本推进单元的周期性阵列;每个基本推进单元的上层部分集成了燃烧室、点火药腔和喷管,喷管底部与燃烧室底部通过点火药腔相连通;每个基本推进单元的下层部分集成了压力传感器和点火器,其底部为内凹的棱台结构,顶部为压力敏感薄膜,压力传感器嵌于压力敏感薄膜中,点火器位于压力敏感薄膜的顶面。本发明使燃烧室内实时压力测量成为可能,同时省去了燃烧室和喷管键合的工艺步骤,避免了由于键合引起的对准误差。
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来源：北方有色网
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