低漂移化学传感器阵列的方法和装置。一种片上的低基线漂移的SAW/LAW化学传感器阵列及其形成方法。双SAW延迟线包括:用来产生声波的公共IDT,以及用来接收声波的一对IDT。一个感测层或者一个参考层可以沉积在公共IDT的每一侧上的位置中。一ASIC
芯片包括片上的双操作放大器和混合器,以利用由感测层和参考层给出的差获得差别测量。可利用三维3D技术来将传感器阵列和ASIC连接在相同的封装中并由此形成3D堆栈。化学传感器阵列和ASIC可以配置在不同的封装中,并利用2D技术互连在相同的衬底上。多种气体可以被独立地探测,每种气体可关于与其相关联的感测层和特定参考层而被有差别地探测。
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来源：北方有色网
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