该实用新型涉及一种研磨头组件和化学机械研磨设备。所述研磨头组件包括：研磨头，包括具有一开口的腔体和卡盘板，卡盘板设置于所述腔体开口处，用于固定晶圆；压力控制单元，设置于腔体内，包括：压力腔和密封件，所述密封件第一端连接所述卡盘板表面，第二端隔离所述压力腔与所述腔体，当所述卡盘板固定有晶圆时，所述压力腔内的压力保持恒定，当晶圆从研磨头中滑出后，卡盘板连同所述密封件位置发生移动，使得压力腔内压力发生变化；压力管道，用于连通所述压力腔与压力供应端；压力传感器，用于连接所述压力管道，用于检测所述压力腔内的压强。上述研磨头组件，能够对晶圆滑出所述研磨头的情况进行检测，提高对晶圆进行研磨加工时的产率。
声明：
“研磨头组件和化学机械研磨设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1196
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
