本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉漏气处理装置，解决现有技术中存在的缺点，包括炉体，所述炉体的外部包裹有隔热层，所述隔热层的外部包裹有防漏气包裹层，所述防漏气包裹层的一侧通过法兰盘固定连接有抽气管，且防漏气包裹层上开设有若干个通孔，在漏气时由于防漏气包裹层与炉体之间为真空状态，当气体泄露时，会在泄露区域内使对应的气囊充气鼓起，便于技术人员寻找炉体的漏气点，具有较强的实用性，沉积炉正常工作时气囊收纳在通孔的内部，漏气时气囊充气膨胀至通孔的外部，红外传感器能够在第一时间检测到气体泄露，进而发出警报提示工作人员。
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来源：北方有色网
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