本发明公开了一种化学机械研磨设备，其结构包括底板、立柱、水平检测装置、研磨板、出液管、储液罐、顶板、气缸、压板、转轴，底板与设在上方的顶板相平行，底板两侧分别通过立柱与顶板相连接，气缸垂直连接在顶板底部，气缸底部与压板垂直连接，研磨板设在压板下方，研磨板通过转轴安装在底板上，储液罐连接在立柱上，储液罐底部设有出液管，出液管管口设在研磨板上方，水平检测装置安装在底板上，本发明的有益效果是：通过2个弹簧杆能够根据研磨板的高度变化进行变化，再经过杠杆结构进行放大，通过报警主机的是否水平来判断研磨板的水平状态，能够及时对工作人员进行提醒，便于及时进行调整，从而保证研磨的质量。
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来源：北方有色网
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