本实用新型属于化工工艺生产设备领域，公开了一种化学沉积炉加热系统，加热系统包括设置在炉体的上层内周与沉积室之间的上加热器层、设置在炉体的下层内周与坩埚之间的下加热器层、控制上加热器层和下加热器层的PLC系统，上加热器层包括上独立加热器，每个上独立加热器与沉积室一一相对设置，下加热器层包括下独立加热器，每个下独立加热器与坩埚一一相对设置，每个沉积室和坩埚旁边均设有热电偶组件；每个上独立加热器和下独立加热器均对应连接有一个变压器，热电偶组件和变压器均连接PLC系统。本实用新型解决了硒化
锌生产过程中化学沉积炉无法进行独立区域控温的问题，在化学沉积炉内实现精准独立检测温度和控制温度精准升降。
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来源：北方有色网
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