本发明公开了一种扭矩终点的检测方法及检测装置，其中，方法包括：在对晶圆进行机械化学抛光时，判断是否进入第一预设时刻；如果是，则每间隔预设时间连续采集多组扭矩值，每组扭矩值包括至少一个扭矩值，并获取每组扭矩值的扭矩均值；判断扭矩均值与下一组扭矩值中首个扭矩值之间的绝对误差是否小于第一预设值；如果是，则得到电机扭矩值最大时刻，并判断与扭矩均值相邻的两组扭矩值的扭矩均值之差是否大于第二预设值；如果是，或者当前时间与电机扭矩值最大时刻之差大于保护时间，则结束终点监控。该方法可以进一步弥补当前扭矩终点检测方式存在的固有缺陷，提高了终点检测精准度，拓宽了相应的制程窗口。
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来源：北方有色网
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