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抛光头，化学机械抛光系统和抛光衬底的方法

784   编辑：管理员   来源：北方有色网  
2023-03-19 06:57:45
抛光头包括承载头和多个布置在承载头上的压力单元。至少两个压力单元位于相对于承载头的中轴线的同一圆周线上。本发明还涉及抛光头，化学机械抛光系统和抛光衬底的方法。
声明：
“抛光头，化学机械抛光系统和抛光衬底的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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