本发明提出一种化学气相沉积反应腔装置，包括：腔室本体，腔室本体内限定有反应腔室；上陪片，上陪片固定在反应腔室内，且上陪片设有至少一个检测通孔；托盘，托盘位于上陪片之下；旋转机构，旋转机构与托盘相连，且旋转机构用于驱动托盘旋转；和
检测仪，检测仪设在腔室本体外且与上陪片的至少一个检测通孔对应。本发明还提出一种化学气相沉积设备。根据本发明的化学气相沉积反应腔装置能够降低检测仪的检测难度，提高检测精度。应用本发明的化学气相沉积设备使温度和成膜厚度检测更为精确，且节省检测时间。另外，本发明实现简单，成本低。
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来源：北方有色网
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