本发明公开了一种球面阻滞势分析仪的制造方法，首先采用冲压成型和热处理定型对金属板材进行加工以获得球面构型件，然后采用
电化学刻蚀加工获得薄球面构型件，再采用超快激光刻蚀加工获得球面型栅极组件，最后采用机加工方法获取壳体和收集极，将球面型栅极组件和收集极装配于壳体上，以获得球面阻滞势分析仪；本方案采用通过电化学刻蚀获得薄球面构型件，以最大限度的保证栅孔加工球面的形状精度，再针对薄壁易变形的特点，采用超快激光刻蚀获得球面高形状精度和高栅孔同轴装配精度的球面型栅极组件，进而装配获得具有球面型栅极组件的球面阻滞势分析仪，并通过球面型栅极组件实现对离子液体电喷雾推力器中的带电粒子能量的准确测量。
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来源：北方有色网
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