本发明提供一种可侦测研磨过程中修整盘脱落的修整盘系统、化学机械研磨装置以及修整盘脱落的侦测方法，修整盘系统包括：修整盘，用于在研磨过程中修整研磨垫；固定盘，位于所述修整盘上方，且与所述修整盘相固定；侦测系统，包括绝缘部件以及传感器组件，所述绝缘部件设置于所述固定盘内，具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面与所述修整盘相接触，所述传感器组件设置于所述第二表面上，所述侦测系统用于对所述修整盘脱落情况的侦测。通过上述方案，本发明的修整盘系统，通过侦测系统侦测在研磨过程中修整盘脱落情况，实时侦测，及时发现修整盘的脱落；侦测方法中可以采用电容式传感器，测试信号直观，实现方式简便。
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来源：北方有色网
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