本发明涉及
电化学测定用室。电化学测定用室是用于利用透过了观察窗的电子束进行测定的电化学测定用室，其特征在于，将观察用MEMS
芯片与密封用MEMS芯片间隔地配置，该观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，在薄膜上设置了工作电极和对电极，该密封用MEMS芯片是包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体，在两者层叠体中的一部分区域中不存在基板，在上述区域中形成包含薄膜的观察窗，工作电极与两者层叠体中的观察窗重叠，并且在观察窗上沿着电子束透过的方向具有多个贯通孔。
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来源：北方有色网
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