本发明提供一种在将由保存在源物质蒸发部中的源物质蒸发出的源气体提供给蒸镀室执行薄膜蒸镀的化学气相蒸镀工序中,测量源物质蒸发部中剩余的源物质量的方法。本发明的方法的特征在于,包括(A)将源物质蒸发部(110)内的气体压力维持在第1压力的阶段、和(B)往源物质蒸发部(110)中提供测量气体从而将源物质蒸发部(110)内的气体压力维持在第2压力的阶段;根据源物质蒸发部(110)内的气体压力从第1压力到达第2压力时为止的测量气体的供给量或供给时间,测量源物质蒸发部(110)中剩余的源物质(120)的量。
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来源：北方有色网
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