本发明提供了一种化学机械研磨设备的研磨性能检测方法。包括：利用化学机械研磨设备研磨衬底，并形成一反射层在研磨之后的衬底上，从而可以对反射层进行光学检测，在光学检测过程中反射层能够将检测光束反射至一检测感应器上，检测感应器获取针对于衬底表面的检测信号，进而可以检测出衬底表面是否存在研磨缺陷，由此判断化学机械研磨设备的研磨性能。本发明中的化学机械研磨设备的研磨性能检测方法，能够有效提高化学机械研磨设备研磨性能的检测结果的准确性，并且还有利于缩短检测化学机械研磨设备的研磨性能所需的时间，提高了化学机械研磨设备的利用率。
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来源：北方有色网
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