本公开描述了一种通量可缩放光子感测系统。所述系统包括多个半导体管芯，所述多个半导体管芯共用公共半导体衬底，并且包括一个或多个硅通孔。所述系统进一步包括多个光子检测传感器，所述多个光子检测传感器被配置成执行生物或化学样本的单分子或簇测序分析。所述系统进一步包括将所述多个半导体管芯彼此分开的多个切割道。所述多个光子检测传感器中的两个直接相邻的光子检测传感器布置在由所述多个切割道中的一个切割道分开的相应两个半导体管芯上。光子检测传感器包括多个亚衍射极限(SDL)光敏元件。每个SDL光敏元件对单个光电子敏感。单个图像像素是基于由SDL光敏元件生成的一个或多个二维或三维输出阵列生成的。
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来源：北方有色网
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