一种X射线分光分析装置，具备：激发源，对试样表面的规定照射区域照射用于使特征X射线产生的激发射线；分光晶体，面向照射区域而设置，由平板构成；狭缝，设置于照射区域和分光晶体之间，平行于照射区域及分光晶体的规定的晶面；X射线线性传感器，设置为在平行于狭缝的方向上具有长边的线状的检测元件沿垂直于狭缝的方向排列；能量校准部，通过从激发源对因照射所述激发射线而生成能量已知的2个特征X射线的标准试样的表面照射该激发射线从而测量该2个特征X射线，并基于该测量的2个特征X射线的能量，校准由X射线线性传感器的各个检测元件检测的特征X射线的能量。能够更高精度地求出从测量对象试样发射的特征X射线的能量。
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来源：北方有色网
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