本发明涉及一种
镍铬合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括：先对
镍铬合金铸锭进行致密化处理，再依次进行锻造、退火、轧制、终端退火、机加工，得到镍铬合金溅射靶材。所述制备方法针对熔炼铸造得到的镍铬合金铸锭的内部缺陷问题，在热塑性变形加工之前先进行致密化处理，有效避免了镍铬合金溅射靶材的内部缺陷问题，将成品率提高至90％以上；而且，制备得到的镍铬合金溅射靶材内部结构均匀，晶粒细小，晶粒≤50μm，符合半导体等高精端产业的质量要求。
声明：
“一种镍铬合金溅射靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
866
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
