一种平板集热条带镀膜方法,采用卧式多室结构方案,卷材放卷后水平引入工艺段,完成真空状态下的刻蚀清洗,采用真空磁控溅射手段镀制超低发射比高选择性吸收功能薄膜,执行在线光学性能检测,最后收卷,从左至右由放卷室1、收卷室2和十个工艺段模块室三大部分串联成一条卷线镀膜线。本发明由于采用标准的模块式结构,可以根据工艺要求进行真空室功能拼装与增减,有利于满足不同工艺所需要求,各功能室也可作拼装调整,达到各功能室的气氛独立精确控制,确保镀膜质量,与现有技术相比,具有方法新颖、简单、实用性强,行进中纠偏精度高,安装维护方便,质量可靠等特点。
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来源：北方有色网
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