本实用新型公开了一种微型电子集成电路测试流片用性能检测装置，包括检测单元，所述检测单元由支撑脚、支撑腿、工作板、检测主体、检测台组成，所述工作板的下方设置有除尘单元，所述除尘单元由伸缩软管、风机、吹气腔体组成，所述工作板的下方设置有控制单元，所述控制单元由通道、卡座、连接架、动力齿轮、齿条、滑槽、动力电机、滑块组成。本实用新型中，设置了除尘单元、控制单元，除尘单元可以将检测台表面上的灰尘进行清理，清理效果良好，保证检测的正常进行、结果误差较小，使用方便，控制单元可以控制吹气腔体移动，可以对检测台的各个部位进行除尘，除尘的比较全面，同时，也可以定点除尘，使用灵活方便。
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来源：北方有色网
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