本发明公开了一种GRIN光纤探针及其制作方法、聚焦性能检测装置和检测方法。GRIN光纤探针是一种超小光学探头，由单模光纤、无芯光纤和多模光纤通过焊接和长度切割而成。GRIN光纤探针的聚焦性能检测装置包括光源、探针夹具、显微物镜、光导管、CCD和计算机构成，光源发出的高斯光束通过光纤引线传输到GRIN光纤探针，并聚焦至空中某一位置，输出的聚焦光束由显微物镜放大后并通过光导管传输到CCD靶面上进行光强分布轮廓的检测和记录，光强信息在计算机中进行处理和分析，进一步判定束腰位置距离探针输出端面的距离和光斑大小。本发明提供的光学探针制作方法能实现长度不超过1毫米量级的GRIN光纤探针的制作，本发明提供的检测装置能实现探针聚焦性能的高精度检测。
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来源：北方有色网
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