本实用新型涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体废气处理设备止回阀，包括上盖和下盖，上盖和下盖的中部贯穿设置通孔，所述上盖靠近下盖的外侧突出设置上凸起，所述下盖在靠近上盖的外侧突出设置下凸起，本实用新型的有益效果是：本止回阀因其在等压环境下为闭合状态，具有自动复位功能，所以安装位置及角度不受限制，角度可以随意安装，很大程度上提高了实用性能；机台内安装位置不受限制，在进口、出口都可安装，装在进气口更加有效的避免气体逆流引起管路高温危险；相比传统的技术，本实用新型通过逆止挡板的设计，可以做到有效密封，避免磨损；本实用新型适用性强，可以更改进出口连接方式进而应用在走水管路中。
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来源：北方有色网
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