本实用新型公开了一种
多晶硅生产中尾气处理系统的氯
硅烷回收系统，属于多晶硅生产领域，包括硅粉
除尘器和硅粉收集罐，硅粉除尘器底部通过管道I连接的硅粉收集罐，管道I上设有阀门I，硅粉收集罐顶部通过废气管连接废气淋洗系统，废气管上安装有阀门II，废气管上还连接有气相返回管；另一端连接硅粉除尘器，气相返回管上设有阀门III，硅粉收集罐上连接有H2进料管线和N2进料管线，H2进料管线上设有阀门IV，N2进料管线上设有阀门V，硅粉除尘器还连接尾气回收系统，解决多晶硅生产中还原过程中，经过硅粉除尘器捕集后，向硅粉收集罐泄放过程中，气相中夹带硅粉较多，导致增加淋洗系统负荷，同时生成的固体物质容易堵塞管道的问题。
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“多晶硅生产中尾气处理系统的氯硅烷回收系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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