一种用于使四卤化硅及冶金级硅(MGS)氢化成三卤
硅烷的反应器,其包括由冶金硅颗粒构成的底座、一个或多个进气口、一个或多个固体进口、一个或多个固体排出口及一个或多个用于从反应器中移除三卤硅烷的端口。由于进入反应器的四卤化硅/氢气进料流中夹带进料硅颗粒以及在所述硅颗粒构成的底座上碰撞所述流而引起内部磨削及磨蚀,使底座颗粒上可形成新生表面。这样具有的优点为较高的三卤硅烷产率、较高的MGS燃耗率、可将废MGS作为在离开反应器的三卤硅烷排出物中所携带的细粉尘而去除、以及在停机进行底座移除之间间隔的时间较长。
声明：
“使四卤化硅及硅氢化成三卤硅烷的装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
786
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
