本发明涉及了一种从硅片切割产生的废砂浆中回收
碳化硅微粉的方法,该方法首先对废砂浆利用离心机进行固液分离,将分离后的固态砂与水混合搅拌;采用磁选除铁,然后加入一定量的分散剂,并超声处理;通过沉降或进行水力溢流冲洗实现硅和碳化硅颗粒的分离以及碳化硅颗粒自身的分级;最后对分级后的固体进行干燥并进一步采用旋风分级机将未完全分离的硅粉和碳化硅颗粒进一步分离,从而获得高纯度的碳化硅粉。本发明可以有效的回收硅晶棒切割废砂浆中的碳化硅微粉,回收效率高,环境污染小,并能满足硅棒线切割的要求,可循环使用,极大降低了企业生产成本。
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“从硅片切割产生的废砂浆中回收碳化硅微粉的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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