本申请涉及
光伏技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置以及气相沉积设备。废气处理装置包括壳体，壳体沿第一方向具有相对的第一端和第二端，壳体具有内腔；内腔包括依次连通的第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔；第二导气腔沿第一方向的相对两端具有上游口和下游口，第一导气腔通过上游口与第二导气腔连通，第三导气腔通过下游口与第二导气腔连通；第一端设置有与第三导气腔连通的出气口；壳体设置有与第一导气腔连通的进气口，进气口与第二端之间的距离大于零；以及过滤元件，过滤元件设置于第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔中的至少一个的内部。本申请的废气处理装置能够有效减少废气中含有的固体颗粒，避免堵塞排气泵。
声明：
“废气处理装置以及气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
825
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
