本实用新型提供了一种废气处理装置和半导体加工设备，一方面能够利用电浆反应器将工业废气转化为固体生成物，并进一步通过固体生成物收集器收集重量较大的固体生成物，另一方面还能够通过增设的静电
除尘器来捕获重量较轻且带电的固体生成物，从而避免细小粉尘进入到残气排放器的排气管道中，可以防止排放残余气体的排气管道及其连接的真空抽气泵堵塞，进而有效避免产品缺陷以及异常报废的风险。
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来源：北方有色网
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