本发明涉及一种从硅片切削废液中回收
碳化硅和聚乙二醇切削液的方法,其特征在于包括以下步骤:废切削液经常温下搅拌后,分离得固体和液体;固体加入纯水搅拌,打碎,加入碱液进行反应,再进入离心分离装置,得到碳化硅液流;加入酸液进行反应,再进入离心分离装置,得到干净的碳化硅液流。经过清洗后,进入烘干机,烘干,风力分级,筛选后包装。固液分离后的液体部分,加入脱色剂和助滤剂,进入机械分离,分离出的液体中再次加入脱色剂和助滤剂,进行机械分离,经过离子交换系统过滤脱去盐分后,经四效蒸发系统脱去水分,即得到聚乙二醇切削液;本发明避免了硅片切削废液直接排放对环境造成的污染,同时还有效降低了硅片切割时的生产成本。
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“从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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