一种非晶态金属离子掺杂二氧化钛光催化材料 及其制备工艺，属于TiO2光催化 薄膜材料技术领域。本发明的光催化材料由Ti、Cr或V金属 离子及O组成。本发明的工艺是以玻璃和不耐高温的高分子材 料及其它各类材料为基材，采用直流、射频磁控反应共溅射的 方法，以Ti靶为磁控溅射直流端的阴极，以金属(Cr或V)靶为 磁控溅射射频端的阴极，以基材为阳极， N2为工作气体， Ar2为溅射气体， O2为反应气体，通过调节直流端 和射频端的输入功率以及溅射时间等工艺参数，分别控制Ti 和金属离子(Cr或V)的相对含量和薄膜的厚度。可广泛用于废 水处理、空气净化、消毒杀菌以及玻璃瓷砖表面自洁净等方面。
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来源：北方有色网
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