本发明涉及
半导体技术领域，公开了一种精密半导体清洗装置，包括箱体、控制器、水箱、半导体进出口、废水出口；箱体的内部左侧固定安装有气缸腔，气缸腔的内中部固定有气缸，气缸的右侧输出端设置有穿过气缸腔的横向的活塞杆，活塞杆的末端固定安装有旋转安装块，旋转安装块的右侧转动连接有与活塞杆同轴心的连接杆，连接杆的末端固定安装有夹持块，箱体的内部右侧固定安装有旋转电机腔，旋转电机腔的内中部设置有旋转电机，旋转电机的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔的旋转杆，旋转杆的末端也固定安装有夹持块。夹持块的一侧设置有夹持口，位于夹持块上方的箱体的内顶部向下设置有两组喷水口。本发明冲洗速度快，全面，精度高，效果好。
声明：
“精密半导体清洗装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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