本发明公开了一种可裁剪双面纳米带电极阵列集成传感器及其制备方法。选用硅片或玻璃作基底,采用MEMS技术将两种不同的电极材料沉积在基底的正反两个平面上,以光刻技术形成上下面对称的梳状工作电极和参考电极阵列,采用PECVD方法在两侧分别沉积有氮化硅绝缘层,光刻露出焊盘,在两面绝缘层上刻制与电极方向垂直的多条切割线。传感器定期裁剪抛光,多次使用延长器件寿命,提高并保持电极的一致和稳定性。传感器固定在TEFLON腔体内,采用差分脉冲阳极溶出伏安法,采集被测溶液的阻抗以及氧化还原电流信号。本发明可在江河湖海、生物医学、工业废水废气等领域中直接对溶液中的阴阳离子浓度进行定量检测,进行表面修饰后可对生物分子进行定性检测。
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来源：北方有色网
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