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集成电路行业研磨废水三级过滤回用水工艺

918   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 02:29:58
本发明提供一种涉及集成电路行业研磨废水三级过滤回用水工艺。该三级过滤回用水工艺由斜管沉淀、超滤和纳滤等工艺流程组成。该用水技术的特征在于:该回用水技术可去除95%以上的SiO2,回用水水质保证,运行成本较低。
声明:
“集成电路行业研磨废水三级过滤回用水工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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