公开了一种新型的用来清洁含溶解状态的金属离子,过氧化氢,和高含量固体粒子,如浓度大于约50毫克/升的微粒状固体粒子的废水的方法和设备。碳吸收柱除去含高含量固体粒子的废水进料中的过氧化氢、离子交换单元从溶液中除去金属离子。该方法和设备从集成电路微
芯片的化学机械抛光(CMP)处理产生的高含量固体粒子的副产物抛光浆中除去金属离子如
铜离子,并生成环保清洁的排放废水。
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“从废水中离子交换除去金属离子” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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