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复合基板以及使用其的弹性波元件

774   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:29:15
本公开的复合基板具备:由钽酸晶体构成且欧拉角为(0、α、γ)的第1基板10;以及由与所述第1基板10接合的硅单晶构成且欧拉角为(‑45、‑54.7、β)的第2基板20,α为‑40°~‑60°或120°~140°,γ为0°或180°,并且满足以下情况的任一者。(1)为β=γ±20°以内以及其等效的取向,(2)γ+160°≤β≤γ+200°。
声明:
“复合基板以及使用其的弹性波元件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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