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光学波导装置和制造光学波导装置的方法

731   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:29:14
光学波导装置和制造光学波导装置的方法。光学波导装置具有:基板,层叠在基板上的中间层、包含X切割的铌酸的薄膜LN层和缓冲层,以及在薄膜LN层中形成的具有脊形形状的光学波导。光学波导装置包括分别设置在光学波导的第一侧和第二侧处的多个电极。电极被设置为使得其相应底表面处于比缓冲层的表面的位置低的位置处。
声明:
“光学波导装置和制造光学波导装置的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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