本发明提供一种在其它弹性波滤波器中不易产生由高阶模造成的纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，是硅基板；氮化硅膜(3)，层叠在支承基板(2)上；氧化硅膜(4)，层叠在氮化硅膜(3)上；压电体(5)，层叠在氧化硅膜(4)上，且由钽酸
锂构成；以及IDT电极(6)，设置在压电体(5)的一个主面，关于压电体的波长归一化膜厚T
LT、压电体的欧拉角θ
LT、所述氮化硅膜的波长归一化膜厚T
N、氧化硅膜(4)的波长归一化膜厚T
S、通过所述IDT电极的波长归一化膜厚和所述IDT电极的密度相对于
铝的密度之比的积求出的、换算为铝的厚度的IDT电极(6)的波长归一化膜厚T
E、支承基板(2)的传播方向Ψ
si、支承基板(2)的波长归一化膜厚T
Si的值，T
LT、θ
LT、T
N、T
s、T
E、ψ
si被设定为由下述的式(1)表示的与第一高阶模的响应强度对应的I
h、与第二高阶模的响应强度对应的Ih、以及与第三高阶模的响应强度对应的I
h中的至少一个大于‑2.4，且T
si＞20。[数学式1]
声明：
“弹性波装置、多工器、高频前端电路以及通信装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
919
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
