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基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法

1027   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:26:06
本发明提供一种基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法,涉及硅材料领域。本发明将硅棒线切割产生的硅废料通过热氧化(和归中反应)直接得到硅氧化物材料,不需要经过蒸发和冷凝过程,也无需经过粉碎破裂,工艺过程简单,成本低廉;通过控制反应条件,可以实现氧原子和硅原子比例在0.16∶1~2∶1范围内的调节;充分利用硅棒线切割产生的硅废料来制备硅氧化物,进一步将其应用到制备离子电池或石英坩埚中,能够促进硅废料的高价值利用。
声明:
“基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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